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尾气处理等设备工艺配套系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 尾气处理等设备工艺配套系统 |
预算金额: | 300.000000万元(人民币) |
采购品目: | A020699其他电气设备 |
采购需求概况 : | 尾气处理等设备工艺配套系统,1套 主要技术要求如下:需完成尾气处理旁通增加、尾气处理设备气体增加、光刻机新增需求、清洗区废液提升管路、TSV刻蚀机、DRIE深硅刻蚀系统、匀胶显影机、等离子体增强化学气相沉积系统(8寸)的动力配电工程、工艺配电采购及安装、工艺排气采购及安装、工艺管道采购及安装、工艺气体及特气采购及安装等相关工艺设备配套工程采购;PCW主管路改造等所有技术要求内包含内容。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。