等离子刻蚀工艺分析试验台-浙江大学-政府采购意向

A****点击查看0300电子工业生产设备

采购设备：等离子刻蚀机。 采购需实现的主要功能如下： 1. TCP 源：功率范围20w到3000w，13.56M 2. Bias Gen： 1) 功率范围在5-3000w，频率13.56M 2) 具有脉冲功能,脉冲频率在10-1000Hz，占空比在3-90%之间，切换的延迟时间控制在300us。 3) 具有超低功率的稳定输出能力。 3.温度控制： 1)多区控温ESC（TOTO） 温度范围在0-140C， 2)ESC具有抗高功率的能力 3)背面cooling 4) 腔壁加热范围0-60C 4.气路： 1)12管主要气体，2管边缘调节气体，气体四区分开可控2) 多气体替换 3) 气体快速切 5.真空设计： 1) 摆阀（VAT） 2) 分子泵(Pfeiffer)：大于2000l/s 3) 干泵(Pfeiffer):转速在600-1200l/s。 6.传输系统：Loadlock和机械手，实现晶圆精准从晶圆盒到主腔体之间的传输。 7.电控：EtherCAT 采购数量1台， 采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求如下： 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后4小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;1 ****点击查看工厂****点击查看基地，具有工艺开发设施和工艺开发团队，配备专业的技术支持人员提供售后服务。2 供方保证提供良好的售后服务，在接到用户故障电话后4小时内响应（工作日内），2个工作日内到现场进行故障排查。3 质保期内因系统本身原因发生故障，所有人工服务费用和维修换件部品费用均为免费。4 系统运行期间若发生零部件损坏故障，供方应在2个工作日内明确回复维修供货期限。5 供方承诺免费提供工艺支持服务。6 供方承诺过保付费维修服务，提供最优惠的维修价格。7 供方承诺系统软件终生免费升级。;