高深宽比超细孔径工艺开发-中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-政府采购意向

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高深宽比超细孔径工艺开发。开发细孔径超高深宽比硅/玻璃通孔互连结构制作技术，通过系统性工艺研究建立智能预测体系。开展通孔制备工艺配方优化设计实验，覆盖干法刻蚀、湿法腐蚀及金属填充等关键工序，构建跨学科实验-计算研究体系，通过实际加工获取足够量的有效工艺参数与通孔质量（深宽比、侧壁粗糙度、填充缺陷率等）的实测数据，结合分子动力学模拟与有限元分析，生成相关工艺-性能关联计算数据，构建机器学习模型，融合实验与仿真数据训练，通过迁移学习提升模型泛化能力，生成**量工艺参数预测数据集，建立工艺知识图谱。成果交付整套工艺数据和工艺质量预测模型（含接口）。采购数量：1项。时限：1.5年。以实际公告为准。